TH510系列半導(dǎo)體CV特性分析儀技術(shù)解析與應(yīng)用
一、設(shè)備概述
TH510系列是專用于半導(dǎo)體器件?電容-電壓(C-V)特性測試?的高精度分析儀,具備多參數(shù)測量、高速掃描及多通道擴(kuò)展能力,適用于功率器件、集成電路等半導(dǎo)體元件的研發(fā)與質(zhì)量控制。
二、核心性能特點(diǎn)
?高效測試能力?
?雙CPU架構(gòu)?:LCR測試速度達(dá)0.56ms/次(1800次/秒),支持快速導(dǎo)通測試(Cont)。
?多參數(shù)同測?:可同步測量并顯示寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg)。
?靈活配置?
?通道擴(kuò)展?:標(biāo)配2通道,可擴(kuò)展至6通道,支持雙芯片并行測試。
?測試模式?:點(diǎn)測、列表掃描(最多1001點(diǎn))、圖形掃描(選件)。
?高精度與寬范圍?
?電壓范圍?:VGS(±40V)、VDS(200V/1500V/3000V可選)。
?頻率覆蓋?:1kHz-2MHz,分辨率達(dá)0.01%。
三、典型應(yīng)用場景
?器件測試?:MOSFET、IGBT、二極管等寄生電容及C-V特性分析。
?材料研究?:晶圓、液晶材料的介電常數(shù)與彈性常數(shù)測量。
?工藝優(yōu)化?:通過C-V曲線評估半導(dǎo)體摻雜濃度與界面態(tài)密度。
四、技術(shù)參數(shù)摘要
| ?項(xiàng)目? | ?規(guī)格? |
|---|---|
| 顯示系統(tǒng) | 10.1英寸觸摸屏(1280×800),Linux操作系統(tǒng) |
| 測量精度 | 0.1%(參考說明書),電容分辨率0.00001pF |
| 接口配置 | RS232/USB/LAN/HANDLER,支持分檔信號輸出 |
| 物理參數(shù) | 尺寸430×177×405mm,重量16kg,功耗≥130VA |
五、操作與擴(kuò)展功能
?校準(zhǔn)與分選?:支持開路/短路/負(fù)載校準(zhǔn),10檔分選(Bin)及PASS/FAIL指示。
?數(shù)據(jù)管理?:內(nèi)部存儲100M,外接USB保存設(shè)定文件、圖形及記錄。
該設(shè)備以一體化設(shè)計(jì)(LCR+高壓源+通道切換)為核心,兼顧效率與精度,是半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn)的理想工具。







