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FH1301D三軸數(shù)字加速度計、MEMS三軸數(shù)字型加速度傳感器 MEMS數(shù)字型三軸加速度計-MEMS傳感器
簡介
FH1301D三軸數(shù)字加速度計是有我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用高精度、低噪聲MEMS芯片， 具有BIMOS信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝 技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅固性特點，自檢測（Self-Test）功能。
本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
二、 原理
FH1301D三軸數(shù)字加速度計是建造在硅晶片頂部的表面MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克服加速度 感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊相連的中央 板形成的差動電容器機(jī)構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。
三、 性能指標(biāo)
FH1301D 技術(shù)參數(shù) | |
X、Y、Z軸（g）測量范圍 | ±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可選 |
頻響（Hz） | 0-250 |
零偏（mg） | <2 |
零偏穩(wěn)定性（mg） | <2 |
零偏重復(fù)性（mg） | <2 |
非線性度（％ F.S） | <0. 1 |
輸岀接口 | RS422 |
數(shù)據(jù)更新率（可設(shè)） | 500hz@460800 (zui高 1000hz) |
供電要求 | |
供電電壓（VDC） | 9-12 |
輸入電流（mA） | <20 |
工作環(huán)境 | |
使用溫度（°C） | -40 to +80 |
耐加速度0.1ms | 5000g |
重量、體積
| |
重量（g） | <50 |
尺寸（mm） | 26*26*13.2 |
四、通訊協(xié)議 MEMS數(shù)字型三軸加速度計-MEMS傳感器
接口形式：RS422
數(shù)據(jù)格式：1個起始位，8個數(shù)據(jù)位，無校驗，1個停止位，高在前,低在后。
MEMS數(shù)字型三軸加速度計-MEMS傳感器
