氣瓶柜/架

　　產品應用：為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用于半導體行業、太陽能電池行業、生物工程、醫藥衛生、等領域?！　?
　　氣瓶柜／氣瓶架采用國際通行的質量標準及工作原理，高純易燃易爆腐蝕有毒氣體地為相應的設備提供工藝氣體。

　　功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結束的排空回充及正常使用的工作狀態指示、異常報警（如負壓異常、泄露、煙霧火等等）及相應的關聯響應等。排空一般采用的是文丘里原理（根據客戶要求可采用真空泵排空方式等）。
　　氣瓶柜裝有爆玻璃，氣路管件均采用優質的管道（EP級SWAGELOK自動軌道焊接等）、閥門、VCR接口均采用SWAGELOK、PARK及APTECH，泄漏檢測、延誤火報警均采用優質品牌。
　　
　　主要技術特點
　　◆按瓶數分類：單瓶柜（架）／二瓶柜（架）／三瓶柜（架）／四瓶柜（架）
　　◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃\易爆\腐蝕\有毒\高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等）
　　◆完善的報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、pH3、HCl等泄漏報警）、煙霧、火報警等
　　◆控制方式：“觸摸屏＋PLC”全自動控制（含手動控制）
　　◆氣路管件：，管道為EP級（CARDINAL／SANDVIK）、閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、減壓閥為PARK或相當、VCR接口及自動軌道焊接
　　◆氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測
　　◆氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能
　　◆氣瓶柜內裝有氣瓶稱重裝置，可即時觀察氣瓶重量。