產品應用：太陽能電池片生產線上125mm×125mm、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用。
產品特點：
◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制；
◆閉管式擴散系統，降低生產成本，更潔凈，更；
◆石英舟采用軟著陸送片，高性；
◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安；
◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；
◆具有斷電報警、溫報警、限溫報警等多種保護功能；
◆控溫好，溫區控溫穩定性好；
◆關鍵件采用件，系統性高，干擾。
主要技術指標：
1.適用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
2.裝片量：300-400片／管；
3.工藝管數量：1～4管（可選擇）；
4.工作溫度范圍：400～1300℃；
5.恒溫度：1100mm（可根據客戶要求定做）；
6.恒溫區：&plun;1℃（600～1100℃）；
7.單點溫度穩定性：≤&plun;1℃／24h（600～1100℃）；
8.可控升溫速度：（300～1300℃）15℃／min；
9.可控降溫速度：（1300～900℃）5℃／min；
10、凈化臺潔凈度：100級。
產品特點：
◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制；
◆閉管式擴散系統，降低生產成本，更潔凈，更；
◆石英舟采用軟著陸送片，高性；
◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安；
◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；
◆具有斷電報警、溫報警、限溫報警等多種保護功能；
◆控溫好，溫區控溫穩定性好；
◆關鍵件采用件，系統性高，干擾。
主要技術指標：
1.適用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
2.裝片量：300-400片／管；
3.工藝管數量：1～4管（可選擇）；
4.工作溫度范圍：400～1300℃；
5.恒溫度：1100mm（可根據客戶要求定做）；
6.恒溫區：&plun;1℃（600～1100℃）；
7.單點溫度穩定性：≤&plun;1℃／24h（600～1100℃）；
8.可控升溫速度：（300～1300℃）15℃／min；
9.可控降溫速度：（1300～900℃）5℃／min；
10、凈化臺潔凈度：100級。
