Tropel®00®為精密部件的制造商提供了業界的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。00能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。
產品特點：
■無接觸和傷測量
■適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，光滑面
■測量多種不同指標：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■完整的分析系統：
三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
■過15年的工業應用，幾百臺的裝機量。
技術參數：
■度：50nm（2.0μ″）
■重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■分辨率：5nm（0.2μ″）
■可測量工件尺寸：25mm-200mm
■動態測量范圍：>100um
■測量數據點：230，000/measurement
■測量時間：5秒
■電源：～220V 50Hz.
產品特點：
■無接觸和傷測量
■適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，光滑面
■測量多種不同指標：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■完整的分析系統：
三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
■過15年的工業應用，幾百臺的裝機量。
技術參數：
■度：50nm（2.0μ″）
■重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■分辨率：5nm（0.2μ″）
■可測量工件尺寸：25mm-200mm
■動態測量范圍：>100um
■測量數據點：230，000/measurement
■測量時間：5秒
■電源：～220V 50Hz.
