這款量EUV光源(遠(yuǎn)紫外光源,紫外光源,深紫外光源）EUV photons source 原產(chǎn)于歐洲，緊湊，易于使用。它有發(fā)射頭和電源組成，方便移動(dòng)，可計(jì)算機(jī)控制工作，發(fā)出13.5nm的遠(yuǎn)紫外光線。
這款EUV光源基于毛細(xì)管放電原理，電能轉(zhuǎn)移至流經(jīng)毛細(xì)管的熱氣,產(chǎn)生熱等離子體。 該EUV光源的工作參數(shù)可調(diào)，適合寬光譜范圍使用。
產(chǎn)品應(yīng)用：
反射測(cè)量（掩膜，光學(xué)計(jì)量），光學(xué)樹(shù)脂測(cè)量，熒光光譜，光電發(fā)射，輻射，光刻，顯微成像等
這款EUV光源基于毛細(xì)管放電原理，電能轉(zhuǎn)移至流經(jīng)毛細(xì)管的熱氣,產(chǎn)生熱等離子體。 該EUV光源的工作參數(shù)可調(diào)，適合寬光譜范圍使用。
產(chǎn)品應(yīng)用：
反射測(cè)量（掩膜，光學(xué)計(jì)量），光學(xué)樹(shù)脂測(cè)量，熒光光譜，光電發(fā)射，輻射，光刻，顯微成像等
